Information für die Wissenschaft Nr. 06 | 5. Februar 2014

Neue Großgeräteinitiative: „Nanopositionier- und Messmaschinen“

Die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) fördert in dieser Großgeräteinitiative Forschungsprojekte mit höchsten Anforderungen an mehrdimensionale Präzisionsmesstechnik mit der Möglichkeit der reproduzierbaren Ansteuerung, Manipulation und Fabrikation von großformatigen Nanostrukturen. Die mögliche Förderung beinhaltet daher die Bereitstellung einer Nanopositionier- und Messmaschine, die bei einem Messbereich von mindestens 200 x 200 x 25mm eine Auflösung von weniger als 1/10nm bei einer Reproduzierbarkeit der Ansteuerung von bis zu 1nm vorweisen kann.

Bisher auf dem Markt befindliche Geräte erfüllen nicht mehr in ausreichendem Maße diese von der aktuellen Forschung geforderte Leistungsklasse und Funktionalität mit extrem hohen Ansprüchen an die Präzision auch bei großem Aspektverhältnis. Modernste Technologien, kommerziell bislang nicht verfügbar, bieten in Kombination mit neuartigen Positionier-, Antast- und Manipulationssystemen nunmehr die Chance, derartige Maschinen mit deutlich verbesserten metrologischen Parametern und Multifunktionalität für die Forschung auf diesen Skalen nutzbar zu machen.

Ziel der Initiative ist es, deutschen Hochschulen möglichst rasch den Zugang zu dieser neuen Hochleistungstechnologie zu ermöglichen, um steigende Anforderungen an Nanometerpräzision in allen Raumrichtungen auch bei größeren Arbeitsbereichen zu bedienen. Denkbare Anwendungsfelder dieser Technologie ergeben sich für die Spitzenforschung unter anderem im Bereich der Mikro- und Nanoelektronik, der Mikromechanik, der Mikrosystem- und Fertigungsmesstechnik, der Sensorik und Präzisionsoptik bis hin zu Bereichen der Medizin und Lebenswissenschaften bei der Erforschung von biochemischen und biophysikalischen Nanostrukturen.

Von den antragstellenden Gruppen wird erwartet, dass sie das Gerät durch eigene Forschungsvorhaben sowie durch die Beteiligung an interdisziplinären Projekten in nennenswertem Umfang auslasten. Darüber hinaus sollen bis zu 20 Prozent der Hauptnutzungszeit auch anderen Arbeitsgruppen in Deutschland zur Verfügung stehen (bei entsprechender Beteiligung an den Betriebskosten). In den Anträgen sollen daher neben den wissenschaftlichen Zielsetzungen und entsprechenden Realisierungskonzepten auch die Nutzungskonzepte konkret beschrieben werden.

Die Bewilligung und Bereitstellung einer Nanopositionier- und Messmaschine wird an die Auflagen geknüpft, a) eine Nutzungsordnung mit Regeln zum Zugang, Einsatz und Betrieb des Gerätes zu schaffen, b) für die Installation eines solchen Systems geeignete Räumlichkeiten und Infrastruktur sowie ausreichend erfahrenes wissenschaftliches und technisches Personal zur Verfügung zu stellen und c) die Finanzierung der Folgekosten für Betrieb und Wartung sicherzustellen.

Anträge für Investitionsmittel können bei der DFG in englischer Sprache im Rahmen des Basismoduls 52.01 unter Berücksichtigung des Merkblatts 50.01 („Guidelines Research Grants Programme“) bis zum 30. Mai 2014 elektronisch über das elan-Portal eingereicht werden. Bitte wählen Sie dazu im elan-Portal unter der Sachbeihilfe die Ausschreibung „Nanopositioning- and Measuring-Stages“.

Weiterführende Informationen

Das Merkblatt zu Sachbeihilfen mit Leitfaden für die Antragstellung (DFG-Vordruck 50.01) sowie die Beschreibung des Antragsmoduls (52.01) stehen im Internet zur Verfügung unter:

Das elan-Portal für die elektronischen Antragstellung kann im Internet erreicht werden über:

Ansprechpartner bei der DFG: