Technik und Erkenntnis

Präziser forschen

25. September 2019 Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

Wie lang es genau dauern wird, die Lichtmikroskope an den entsprechenden Hochschulen zum Einsatz zu bringen, ist noch offen. Bei der Nanopositionier- und Nanomessmaschine (NPMM-200), die 2018 im Rahmen einer DFG-Großgeräteinitiative am Stuttgarter Institut für Technische Optik installiert werden konnte, dauerte es insgesamt vier Jahre.

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Das Vier-Millionen-Euro-Projekt wurde von Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftlern der TU Ilmenau unter der Leitung von Eberhard Manske am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik entwickelt und eigenhändig aufgebaut. Ziel der Großgeräteinitiative war es, die steigenden Anforderungen auf dem Gebiet der Nanometerpräzision an deutschen Hochschulen zu bedienen.

Bevor die Hochpräzisionsmaschine in den Besitz der Universität Stuttgart überging, musste sie eine aufwendige Abnahmeprozedur überstehen. Am messtechnischen Limit stellte die NPMM-200 dabei ihre einzigartigen Fähigkeiten hinsichtlich der Präzision unter Beweis. So kann sie in einem Messbereich von 200x200x25 Millimeter ein bestimmtes Feld mit einer Genauigkeit von einem Nanometer, also einem Millionstel Millimeter, anfahren und dieses mit einer Auflösung von 20 Pikometern, also nochmals um einen Faktor 50 besser, vermessen – auch im internationalen Vergleich ein absoluter Spitzenwert. Inzwischen nutzen die Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler die hohe Wiederhol- und Positioniergenauigkeit der NPMM-200 in Stuttgart für erste 3-DMessungen an verschiedenen makroskopischen, mikroskopischen und nanoskopischen Sensoren.